工業(yè)等離子光催化廢氣處理采用高壓發(fā)生器產(chǎn)生并形成低溫等離子體，在平均能量大約在5eV的大量電子作用下，使通過(guò)凈化器的廢氣成分苯、甲苯、二甲苯等有機(jī)廢氣分子轉(zhuǎn)化成各種活性粒子，與空氣中的O2結(jié)合生成H2O、CO2等低分子無(wú)害物質(zhì)，使廢氣得到凈化。在處理過(guò)程中，當(dāng)有機(jī)氣體進(jìn)入冷離子體反應(yīng)室時(shí)，氣體被均勻分配到等離子反應(yīng)室（PRC）。反應(yīng)室內(nèi)每根管子的中間有一根冠狀電線，與反應(yīng)室獨(dú)立隔開(kāi)。通過(guò)高壓線對(duì)反應(yīng)室導(dǎo)通可調(diào)節(jié)高壓，高壓導(dǎo)通道管子里的冠狀電線上，由電線至管壁產(chǎn)生放電現(xiàn)象。

工業(yè)等離子光催化廢氣處理優(yōu)點(diǎn)：

①能耗低，可在室溫下與催化劑反應(yīng)，無(wú)需加熱，極大地節(jié)約了能源；

②使用便利，設(shè)計(jì)時(shí)可以根據(jù)風(fēng)量變化以及現(xiàn)場(chǎng)條件進(jìn)行調(diào)節(jié)；

③不產(chǎn)生副產(chǎn)物，催化劑可選擇性地降解等離子體反應(yīng)中所產(chǎn)生的副產(chǎn)物；

④不產(chǎn)生放射物；

⑤尤其適于處理有氣味及低濃度大風(fēng)量的氣體。

當(dāng)廢氣進(jìn)入等離子光解一體機(jī)凈化設(shè)備內(nèi)時(shí)，先經(jīng)過(guò)等離子體化學(xué)反應(yīng)過(guò)程，即電子首先從電場(chǎng)獲得能量，通過(guò)激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時(shí)有部分分子被電離， 從而成為活性基團(tuán)；之后這些活性基團(tuán)與分子或原子、活性基團(tuán)與活性基團(tuán)之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。